解析勻膠機(jī)原理材質(zhì)的選擇

從其原理來(lái)說(shuō)，勻膠機(jī)有以下兩個(gè)特點(diǎn)。

（1）旋轉(zhuǎn)速度

轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速誤差很大，對(duì)于要求*涂覆的科研人員來(lái)說(shuō)是無(wú)法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。轉(zhuǎn)速控制方面有際認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)，如美NIST標(biāo)準(zhǔn)等。

（2）真空吸附系統(tǒng)

真空泵般采用無(wú)油泵，即通常說(shuō)的干泵，因?yàn)楹蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿溃绻婵瘴搅档停瑫?huì)導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會(huì)讓滴的膠液不慎入真空管道系統(tǒng)成堵塞。有的勻膠機(jī)通過(guò)聯(lián)動(dòng)機(jī)制，當(dāng)真空吸附力不夠時(shí)不會(huì)開(kāi)始旋轉(zhuǎn)。這樣可有效避免滴的膠液不慎入真空管道系統(tǒng)。

勻膠機(jī)勻膠機(jī)

該勻膠機(jī)的術(shù)參數(shù)：

Speed Ⅰ調(diào)速范圍：500～2500 r/min；

Timer Ⅰ勻膠時(shí)間：0～18 s；

Speed Ⅱ轉(zhuǎn)速范圍：800～8000 r/min；

Timer Ⅱ勻膠時(shí)間：0～60 s；

轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1%；

電機(jī)率：40 W；

被鍍物質(zhì)尺寸：Φ12～Φ100mm。 [3]

材質(zhì)的選擇

對(duì)于半導(dǎo)體化行業(yè)的應(yīng)用來(lái)說(shuō)，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，大分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因?yàn)檫@種材質(zhì)的成本很低，不銹鋼的對(duì)于各類化膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對(duì)于較溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會(huì)導(dǎo)致旋涂時(shí)，時(shí)時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無(wú)法得到好的旋涂效果。例如美等型號(hào)都是采用天然聚丙烯（NPP）或者聚四氟乙烯（特氟隆，PTFE）材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強(qiáng)度大、抗沖擊性能好、堅(jiān)固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點(diǎn)