純氣體露點變送器Pura專為高度純凈的氣體應(yīng)用場合測量微量濕度而設(shè)計的經(jīng)濟(jì)型變送器
結(jié)構(gòu)堅固的自給式濕度計
• 安裝簡便
• 高度的穩(wěn)定性和重復(fù)性
• 測量范圍*低達(dá)-120OC露點,相當(dāng)于〈1 ppbV
• *佳**度為±1°C露點
• 4~20mA及RS 485輸出
• 半導(dǎo)體工業(yè)表面處理和清潔
類型:
密析爾Ceramic 陶瓷濕度變送器
測量范圍:
-120~-40°C 露點 (標(biāo)定-100~-40°C)
**度:
-40~-60 范圍為±1°C;-61~-100 范圍
為±2°C; -101~120 范圍為±4°C(估)
分辨率:
-40~-79.9 范圍為01°C;-80~-100 范圍
為 1°C;;-100~-120 范圍為1~3°C
額定壓力:
*低為10-9torr;*高為24MPa
氣流率:
1~5 Nlmin-1
電子電路
電源:
額定24VDC,10V min., 28V max ,
25 mA max
輸出:
4-20mA可調(diào),使用提供的界面軟件調(diào)
調(diào)節(jié)范圍1~80°C
*大負(fù)載=1k Ω (28VDC 時),*小負(fù)
載=200Ω(10VDC 時)(50Ω/v)
出錯狀態(tài)顯示:
標(biāo)準(zhǔn)的出錯誤狀況:
23m=變送器故障;20mA=超越測量
范圍;4mA=小于測量范圍。這些設(shè)置
能通過提供的軟件界面進(jìn)行調(diào)節(jié)
機(jī)械結(jié)構(gòu)
探頭:
冷拉不銹鋼,內(nèi)部0.1-0.2μm Ra鐳電鍍拋光
氣體連接口:
優(yōu)阻Premium和OEM 型-
1/4”外螺紋VCR 連接;
樸若Pura變送器-
1/2”外螺紋VCR 連接口
安裝:
優(yōu)阻Premium和OEM:
安裝方式為工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)120mm間距,
另有2 個M4 螺孔,0.7 螺距,孔深
7mm,孔間距20mm
裝入用戶的1/2”VCR連接口
外形尺寸:
優(yōu)阻Premium和OEM:120x35x150mm
樸若Pura變送器:132x35mm
重量:
優(yōu)阻Premium和OEM:450g
樸若Pura變送器:180g
包裝:
樸若Pura雙層包裝,UHP 惰性氣體密封
樸若Pura OEM 和樸若Pura 變送器:單
層包裝于1000gauge聚乙烯
為何要測量微量水分
在諸多高純凈氣體的應(yīng)用場合如半導(dǎo)體行業(yè),為了滿足工業(yè)過程的要求,氣體中殘留的微量水分是極為關(guān)鍵的參數(shù)。實踐操作中測量水分含量是非常困難的,因為期間需要使用復(fù)雜的濕度分析儀或昂貴分析技術(shù)?,F(xiàn)在,密析爾給市場帶來了簡便、經(jīng)濟(jì)而且高效率的露點在線測量的解決方案,*低露點溫度可測達(dá)-120OC(相當(dāng)于<1ppb)。樸若Pura 變送器匯集了密析爾生產(chǎn)和校驗阻抗露點變送器方面的經(jīng)驗和專業(yè)知識,并結(jié)合了工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)選材和制造工藝,使之成為**款適用于大規(guī)模集成半導(dǎo)體制造工廠及高純凈氣體行業(yè)中的低價位變送器。
樸若Pura為何如此優(yōu)良??
樸若Pura 出色之處在它的簡單。這種獨特設(shè)計的自給式變送器,能無停頓地在純氣體工業(yè)過程中**地工作,連續(xù)可靠地測量用戶需要的參數(shù)。樸若Pura的外殼由冷拉不銹鋼制成,內(nèi)部采用0.25um鐳電拋光,能*大程度地避免水分吸附并符合氧氣標(biāo)準(zhǔn)。頂端套有1/4”外螺紋VCR 氣體連接口,起到清潔作用。出廠前的樸若Pura的清潔處理和雙層包裝,均在100 級潔凈室純惰性氣體密封環(huán)境下操作的。另外,發(fā)貨前儀表經(jīng)過精密校準(zhǔn),隨時能投入使用。校準(zhǔn)過的4~20mA 輸出可連接到過程顯示儀或中央控制系統(tǒng)?;?/span>通過485通訊接口輸出直接和合適的計算機(jī)系統(tǒng)連接。產(chǎn)品的設(shè)計思路把把體積精簡至*小,確保了在開工準(zhǔn)備階段和可能發(fā)生的潮濕環(huán)境下,裝置能夠達(dá)到*快的反應(yīng)速度。變送器密封等級為10-9torr,而整個系統(tǒng)能夠承受VCR連接器等級*大值為24MPa。
用戶個人化定制信息
樸若Pura 出廠時就可隨時投入使用,它以10OC 露點為階段被**地校準(zhǔn),傳遞標(biāo)準(zhǔn)可溯源到NIST 和NPL,該產(chǎn)品能用戶個人化定制。用戶能將4~20mA 輸出設(shè)置在過程范圍中的任何一部分,*小跨度為1OC。同時,出廠設(shè)置中預(yù)調(diào)了針對超出測量范圍、低于測量范圍以及變送器出錯情況的警報信號,用戶也能根據(jù)其應(yīng)用環(huán)境以及系統(tǒng)的需要輕松的進(jìn)行預(yù)調(diào)。
簡易的安裝和操作
樸若Pura 的安裝過程很簡單。1/4”外螺VCR 氣體連接口的間距為120mm,符合MFC Footprint 標(biāo)準(zhǔn)。整個部件高度僅為150mm,重量小于500g。樸若Pura為三線制變送器,工作過程中能非常靈活的操作,任何12~28V 的可調(diào)節(jié)的直流電源都能對其供電(*大電流為25mA)。
可靠性及技術(shù)支持
用于測量關(guān)鍵參數(shù)的儀表選型,需從可靠性及技術(shù)支持兩方面來斟酌考慮。密析爾在這兩方面都非常出色。撲若Pura采用的變送和測量技術(shù)在過去十年中已經(jīng)發(fā)展的很成熟。且已被數(shù)以萬計的工業(yè)應(yīng)用場合所確認(rèn),而這些應(yīng)用場合往往是高度污染、強腐蝕和劇烈振動以及極端溫度的環(huán)境。密析爾的陶瓷濕度傳感技術(shù)在全球范圍內(nèi)被大型工業(yè)設(shè)備生產(chǎn)制造商采用。萬一用戶測量過程中出現(xiàn)了錯誤,能通過密析爾全球范圍的網(wǎng)絡(luò)分支辦事處或是經(jīng)授權(quán)的銷售商得到技術(shù)支持,而且大部分都能為用戶提供校準(zhǔn)設(shè)備或現(xiàn)貨。此外他們擁有豐富的經(jīng)驗,能針對用戶的應(yīng)用場合提供*周到的技術(shù)支持。
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